Каталог

Трубчатая печь для плазмохимического осаждения пленок

 

 

 

Трубчатая печь для плазмохимического осаждения пленок – это горизонтальная электромеханическая установка периодического действия камерного типа, которая применяется для лабораторных исследований (плазменная очистка, плазменная полимеризация и т. д.) с целью получения высокочистых твёрдых структур.

Трубчатая печь для плазменно-химического осаждения из газовой фазы внешне представляет собой габаритную раму-тумбу, составляемую из трёх секций на колёсах малого диаметра. На поверхности тумбы крепятся непосредственно камера и плазменный генератор, сквозь которые конструктивно устанавливается нагревательная кварцевая трубка, оснащенная цифровым вакуумметром. Короб камеры имеет двойную структуру, между слоями которой установлена система охлаждения с принудительными вентиляторами. Внутренняя оболочка камеры выполнена из глиноземного волокна. Надежность закрывания крышки камеры обеспечивает замковый механизм. Под плазменным генератором содержится ВЧ-генератор, который используется для настройки. Под коробом печи в раме смонтирован контроллер расхода газа. Справа в раме предусмотрен разъём для подключения вакуумного насоса 7.8 CFM-240 L/M роторного типа с адаптером KFD25.

Печь трубчатая плазмохимического осаждения пленок управляется с помощью кнопочного пульта подачи команд, который установлен на передней панели короба камеры. На панели управления установлен цифровой регулятор температуры, который хранит в памяти до 30 температурных алгоритмов, а также приборы контроля (вольтметр, амперметр).

Модель

KJ-01200-P80V10

Длина камеры

440mm

Диаметр трубки

80mm

Рабочая температура

1100°C

Длина трубки

1400mm

Точность температурного контроля

±1°C

Мощность

5KW

Тип управления

PID автоматическое управление с функцией авто настройки

Питание

220V 50/60Hz

Отзывы

Отзывов пока нет.

Будьте первым, кто оставил отзыв на “Трубчатая печь для плазмохимического осаждения пленок”

Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *